พารามิเตอร์:

โบลเวอร์ชนิด Roots สองขั้นตอน

อัตราการไหล:0.63~1258ลบ.ม./นาที

แรงดันเพิ่มขึ้น:98~196kPa

ปั๊มสุญญากาศชนิดเปียกสองขั้นตอน

อัตราการไหล: 1.21~1250ลบ.ม./นาที

สุญญากาศ: -53.3~-80kPa